67项电子特气标准盘点大连大特气体有限公司

导读：为不断推动电子特气产业发展，国家出台了各种相关标准。仪器信息网特对电子特气相关标准规范进行盘。本次盘点涉及国际标准和国家标准两类。

特种气体是用途有别于一般气体的气体，是一个笼统的概念。它在纯度、品种、性能方面都是严格按照一定规格进行生产和使用的。一般认为，特种气体是由电子气体、高纯石油化工气体和标准混合气体所组成。另外，在半导体制造业中，气体还可以分为大宗气体和电子气体，大宗气体是指集中供应且用量较大的气体，如N2、H2、O2、Ar、He 等。电子气体主要是半导体制造的每一个过程如外延生长、离子注入、掺杂、刻蚀清洗、掩蔽膜生成所用到的各种化学气体，如高纯SiH4、PH3、AsH3、B2H6、N2O、NH3、SF6、NF3、CF4、BCI3、BF3、HCI、CI2等，又可称为电子特种气体。

电子特种气体是超大规模集成电路、平板显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可或缺的原材料，它们主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。电子工业服务的电子气品种繁多，用途五花八门。各类半导体用电子气体标准主要由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会制定。

为不断推动电子特气产业发展，国家出台了各种相关标准。仪器信息网特对电子特气相关标准规范进行盘。本次盘点涉及国际标准和国家标准两类，涉及国际标准40项，国家标准27项，共计67项标准。详情如下，

国际标准

计划号	项目名称	制修订	计划下达日期	项目状态
20204890-T-469	电子特气一氧化氮	制订	2020/12/28	正在起草
20204889-T-469	电子特气六氯乙硅烷	制订	2020/12/28	正在起草
20200854-T-469	电子特气三氟化氮	修订	2020/3/6	正在批准
20200797-T-469	电子特气三氯化硼	修订	2020/3/6	正在批准
20192162-T-469	电子特气氨	修订	2019/7/12	正在审查
20192161-T-469	电子特气磷化氢	修订	2019/7/12	正在审查
20184308-T-469	电子特气六氟丁二烯	制订	2018/12/29	正在批准
20184306-T-469	电子工业用二氯硅烷	制订	2018/12/29	已发布
20184310-T-469	电子工业用四氯化硅	制订	2018/12/29	已发布
20184309-T-469	电子特气氟甲烷	制订	2018/12/29	正在批准
20132258-T-469	电子工业用气体六氟乙烷	制订	2014/1/26	已发布
20132259-T-469	电子工业用气体三氟甲烷	制订	2014/1/26	已发布
20132260-T-469	电子工业用气体中金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法	制订	2014/1/26	已发布
20132255-T-469	半导体制造用气体处理指南	制订	2014/1/26	已发布
20132257-T-469	电子工业用气体硅烷	修订	2014/1/26	已发布
20132256-T-469	电子工业用气体丙烯	制订	2014/1/26	已发布
20120270-T-469	电子工业用气体八氟丙烷	制订	2012/10/12	已发布
20120271-T-469	电子工业用气体锗烷	制订	2012/10/12	已发布
20110736-T-469	电子工业用气体四氟化硅	制订	2011/12/14	已发布
20111284-T-469	电子工业用气体高纯氯	修订	2011/12/14	已发布
20110735-T-469	电子工业用气体六氟化钨	制订	2011/12/14	已发布
20111285-T-469	电子工业用气体氯化氢	修订	2011/12/14	已发布
20101283-T-469	电子工业用气体六氟化硫	修订	2010/12/17	已发布
20091223-T-469	电子工业用气体八氟环丁烷	制订	2009/12/15	正在审查
20091224-T-469	电子工业用气体四氟化碳	制订	2009/12/15	正在审查
20081120-T-469	电子工业用气体砷化氢	制订	2008/11/3	已发布
20081121-T-469	电子工业用气体硒化氢	制订	2008/11/3	已发布
20081119-T-469	电子工业用气体三氯化硼	修订	2008/11/3	已发布
20070017-T-469	电子工业用气体 5N氯化氢	制订	2007/5/18	已发布
20062982-T-469	电子工业用气体磷化氢	修订	2005/12/30	已发布
20062406-T-469	电子工业用气体氦	修订	2005/12/30	已发布
20062405-T-469	电子工业用气体氢	修订	2005/12/30	已发布
20062408-T-469	电子工业用气体氩	修订	2005/12/30	已发布
20062751-T-469	电子工业用气体三氟化硼	修订	2005/12/30	已发布
20062752-T-469	电子工业用气体氧	修订	2005/12/30	已发布
20062749-T-469	电子工业用气体氧化亚氮	修订	2005/12/30	已发布
20062750-T-469	电子工业用气体氨	修订	2005/12/30	已发布
20062407-T-469	电子工业用气体氮	修订	2005/12/30	已发布
20064396-T-469	电子工业用气体硅烷(SiH4)	修订	2005/12/30	已发布
20051092-T-469	电子工业用气体三氟化氮	制订	2005/12/15	已发布

国家标准

标准号	标准中文名称	发布日期	实施日期	标准状态
GB/T 38866-2020	电子工业用二氯硅烷	2020/7/21	2021/2/1	现行
GB/T 38867-2020	电子工业用四氯化硅	2020/7/21	2021/2/1	现行
GB/T 34091-2017	电子工业用气体六氟乙烷	2017/7/31	2017/11/1	现行
GB/T 34085-2017	电子工业用气体三氟甲烷	2017/7/31	2017/11/1	现行
GB/T 15909-2017	电子工业用气体硅烷	2017/5/31	2017/12/1	现行
GB/T 33774-2017	电子工业用气体丙烯	2017/5/31	2017/12/1	现行
GB/T 32386-2015	电子工业用气体六氟化钨	2015/12/31	2016/7/1	现行
GB/T 31986-2015	电子工业用气体八氟丙烷	2015/9/11	2016/5/1	现行
GB/T 31987-2015	电子工业用气体锗烷	2015/9/11	2016/5/1	现行
GB/T 31058-2014	电子工业用气体四氟化硅	2014/12/22	2015/7/1	现行
GB/T 18867-2014	电子工业用气体六氟化硫	2014/12/22	2015/7/1	现行
GB/T 14602-2014	电子工业用气体氯化氢	2014/12/22	2015/7/1	现行
GB/T 18994-2014	电子工业用气体高纯氯	2014/12/22	2015/7/1	现行
GB/T 26249-2010	电子工业用气体硒化氢	2011/1/14	2011/5/1	现行
GB/T 26251-2010	氟及氟氮混合气	2011/1/14	2011/5/1	现行
GB/T 17874-2010	电子工业用气体三氯化硼	2011/1/14	2011/5/1	现行
GB/T 26250-2010	电子工业用气体砷化氢	2011/1/14	2011/5/1	现行
GB/T 14851-2009	电子工业用气体磷化氢	2009/10/30	2010/5/1	现行
GB/T 14600-2009	电子工业用气体氧化亚氮	2009/10/30	2010/5/1	现行
GB/T 14601-2009	电子工业用气体氨	2009/10/30	2010/5/1	现行
GB/T 14603-2009	电子工业用气体三氟化硼	2009/10/30	2010/5/1	现行
GB/T 16945-2009	电子工业用气体氩	2009/10/30	2010/5/1	现行
GB/T 16944-2009	电子工业用气体氮	2009/10/30	2010/5/1	现行
GB/T 14604-2009	电子工业用气体氧	2009/10/30	2010/5/1	现行
GB/T 16942-2009	电子工业用气体氢	2009/10/30	2010/5/1	现行
GB/T 16943-2009	电子工业用气体氦	2009/10/30	2010/5/1	现行
GB/T 21287-2007	电子工业用气体三氟化氮	2007/12/14	2008/7/1	现行

[来源：仪器信息网]